hochreines Hexamethyldisiloxan (HMDSO) CAS-Nr. 107-46-0
Hexamethyldisiloxan (HMDSO), ein lineares Polydisiloxan, ist ein Organosiliciumreagens, das üblicherweise als Quelle für die plasmaunterstützte chemische Gasphasenabscheidung (PE-CVD) von dünnen Schichten aus Siliziumverbindungen verwendet wird.Es wird auch als Ersatz für Silan in der Silizium-IC-Technologie eingesetzt.
Chemischer Name: Hexamethyldisiloxan
CAS-Nr.:107-46-0
Molekulare Formel: C6H18OSi2
Molekulargewicht: 162,38
Aussehen: Farblose transparente Flüssigkeit
Typische Eigenschaften von Hexamethyldisiloxan
| Artikel | Spezifikationen |
| Spezifisches Gewicht | 0,7600–0,7700 g/cm3 |
| Brechungsindex (n25D) | 1.3746-1.3750 |
| Schmelzpunkt | -59 °C (lit.) |
| Siedepunkt | 101 °C (lit.) |
| Fp | 33 °F |
Zertifikat: 
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