heksametildisiloksan visoke čistosti (HMDSO) št. CAS 107-46-0
Heksametildisiloksan (HMDSO), linearni polidisiloksan, je organosilikonski reagent, ki se pogosto uporablja kot vir za kemično nanašanje s paro s pomočjo plazme (PE-CVD) tankih plasti silicijevih spojin.Uporablja se tudi kot nadomestek za silan v tehnologiji silicijevih integriranih vezij.
Kemijsko ime: heksametildisiloksan
Št. CAS:107-46-0
Molekulska formula: C6H18OSi2
Molekulska masa: 162,38
Videz: Brezbarvna prozorna tekočina
Tipične lastnosti heksametildisiloksana
| Predmeti | Specifikacije |
| Specifična težnost | 0,7600-0,7700 g/cm3 |
| Refraktivni indeks (n25D) | 1,3746-1,3750 |
| Tališče | -59 °C (osvetljeno) |
| Vrelišče | 101 °C (osvetljeno) |
| Fp | 33 °F |
potrdilo: 
Kaj lahko zagotovimo: 
