ຜົງໂລຫະ Tantalum
ລາຍລະອຽດຜະລິດຕະພັນ
| ລາຍການ | ຂໍ້ມູນສະເພາະ | ຜົນການທົດສອບ | ||||||
| ຮູບລັກສະນະ | ຝຸ່ນສີຂີ້ເຖົ່າເຂັ້ມ | ຝຸ່ນສີຂີ້ເຖົ່າເຂັ້ມ | ||||||
| ວິເຄາະ | 99.9% ນທ | 99.9% | ||||||
| ຂະໜາດອະນຸພາກ | 40nm,70nm,100nm,200nm | |||||||
| ຄວາມບໍ່ສະອາດ(%, ສູງສຸດ) | ||||||||
| Nb | 0.005 | 0.002 | ||||||
| C | 0.008 | 0.005 | ||||||
| H | 0.005 | 0.005 | ||||||
| Fe | 0.005 | 0.002 | ||||||
| Ni | 0.003 | 0.001 | ||||||
| Cr | 0.003 | 0.0015 | ||||||
| Si | 0.005 | 0.002 | ||||||
| W | 0.003 | 0.003 | ||||||
| Mo | 0.002 | 0.001 | ||||||
| Ti | 0.001 | 0.001 | ||||||
| Mn | 0.001 | 0.001 | ||||||
| P | 0.003 | 0.002 | ||||||
| Sn | 0.001 | 0.001 | ||||||
| Ca | 0.001 | 0.001 | ||||||
| Al | 0.001 | 0.001 | ||||||
| Mg | 0.001 | 0.001 | ||||||
| Cu | 0.001 | 0.001 | ||||||
| N | 0.015 | 0.005 | ||||||
| O | 0.2 | 0.13 | ||||||
ໃບຢັ້ງຢືນ:
ສິ່ງທີ່ພວກເຮົາສາມາດສະຫນອງ:
