高純度ヘキサメチルジジロキサン（HMDSO）CAS No. 107-46-0
線形ポリジジロキサンであるヘキサメチルジジロキサン（HMDSO）は、シリコン化合物の薄膜の血漿強化化学蒸気堆積（PE-CVD）の源として一般的に利用される有機シリコン試薬です。また、シリコン統合回路技術でシランの代替品として採用されています。
化学名：ヘキサメチルジシロキサン
CAS NO。：107-46-0
分子胎盤：C6H18OSI2
分子量：162.38
外観：無色の透明な液体
ヘキサメチルジシロキサンの典型的な特性
| アイテム | 仕様 |
| 比重 | 0.7600-0.7700g/cm3 |
| 屈折率（N25D） | 1.3746-1.3750 |
| 融点 | -59°C（点灯） |
| 沸点 | 101°C（点灯） |
| FP | 33°F |
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